氮化硼問世于100多年前,應(yīng)用是作為高溫潤滑劑的六方氮化硼[簡稱:h—BN,或a—BN,或g—BN(即石墨型氮化硼)],h—BN不其結(jié)構(gòu)而且其性能也與石墨相似,且自身潔白,所以俗稱:白石墨。氮化硼
氮化硼(BN)陶瓷是早在1842年被人發(fā)現(xiàn)的化合物。國外對BN材料從第二次世界大戰(zhàn)后進(jìn)行了大量的研究工作,直到1955年解決了BN熱壓方法后才發(fā)展起來的。美國金剛石公司和聯(lián)合碳公司先投入了生產(chǎn),1960年已生產(chǎn)10噸以上。
1957年R·H·Wentrof率先試制成功CBN,1969年美國通用電氣公司以商品Borazon銷售,1973年美國宣布制成CBN刀具。
1975年日本從美國引進(jìn)技術(shù)也制備了CBN刀具。
1979年Sokolowski卜引次成功采用脈沖等離子體技術(shù)在低溫低壓卜制備崩c—BN薄膜。
20世紀(jì)90年代末,人們已能夠運(yùn)用多種物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)的方法制備c—BN薄膜。
從中國國內(nèi)看,發(fā)展突飛猛進(jìn),1963年開始BN粉末的研究,1966年研制成功,1967年投入生產(chǎn)并應(yīng)用于我國工業(yè)和技術(shù)之中。
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